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泛林介绍世界首款半导体制造设备维护专用协作机器人Dextro
发布日期:2024-12-12
在安装和压缩易损件时精度是人手的 2 倍; 精确拧紧高精度真空密封螺栓,人类员工用手完成这一重复性任务时错误率高达 5%; 无需拆卸下腔室即可自动化去除腔室侧壁上的任何聚合物堆积,以往人类需要配备重型呼吸防护设备才能执行此类任务。
当制造设备需要维护时,必须快速高效地完成工作,以避免延长工具停机时间和浪费成本。 Dextro 的无差错维护有助于推动生产在可变性和产量上的改进。这是三星迈向自主工厂的一个激动人心的里程碑。
